Die Vakuumüberwachung besteht aus einem Halbleiter-Druckaufnehmer und aus einer Auswertelektronik in Hybridbauweise. Es gibt keine beweglichen Teile. Zusätzlich EIN/AUS Signal wird auch ein analoges Signal erzeugt, welches zum Überwachen des Druckes dienen kann.

Beispielbild der Vakuumüberwachung

Das Metofer-Datenblatt